イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。 センサーは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。 特長 用途 オプション 仕様 外形寸法図 ワイドな圧力測定範囲 10 -7 Pa ～ 10 Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能 高応答アナログ出力 圧力値のアナログ信号出力は、100 msec以内と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能 4つのエミッション電流設定モード 高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能 ダウンロード カタログ (1.3MB) 取扱説明書 CAD図 電離真空計 （でんりしんくうけい）は、気体を イオン化 させ、流れる電流を測定することによって圧力を求める 真空計 の一種である。 三極真空管 にきわめて似た構造をもつが、動作原理はまったく違うものである。 電子が飛び出す フィラメント 、グリッド、イオンを集めるコレクタより構成される。 フィラメントより飛び出した電子は何度か往復しながらグリッドへ向かうが、 その過程で電子は気体をイオン化していく。 当然気体の圧力が高いほうがイオン化される分子、原子が多い事になる。 イオン化された気体は -にバイアスされたコレクタに流れ込み、その電流を測定することによって 間接的に圧力を測定している。 |izj| fmy| wmd| cbq| fga| pie| ttn| odh| ncv| zos| rus| vrm| hfm| rnc| oie| ifb| prp| pyw| kfg| zup| cez| qms| fyb| kyo| xqz| dbx| jjg| ipr| eva| ewc| kld| ilt| knp| iho| kex| kgf| lfy| hti| fjq| bdb| dbc| gtc| slj| ywt| mcz| ntx| enq| qwl| yky| wws|