オイルシール型ポンプシリーズには、スクリュー真空ポンプ、ロータリーベーン真空ポンプ、ロータリーピストン真空ポンプがあります。 ロータリーベーンシリーズでは、必要に応じてATEXオプションをご用意しています。 アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます。 重金属汚染が少ない Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます。 S シリーズの真空ポンプは、価格を重視する場合に最適な製品です。. 幅広い容量を取り揃えております。. また、流量は 2 ～ 4CFM (57 ～ 113LPM) をカバーするため、分割システム、自動車および小規模商業用途の軽負荷に最適です。. 完全に透明なオイル Pumpen im Überblick! Hersteller und technische Beschreibungen. 特長. このベルト駆動型油回転真空ポンプは、当社創業時から製造しているシリーズであり、使いやすさ等お客様の立場に立った改良を加えながら、現在も当社主力ポンプの一翼を担っている信頼性の高いポンプです。. 異径プーリーによりポンプ回転数は 【水封式真空ポンプSWシリーズの特長】・水封式真空ポンプは、水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適です。・2段式ポンプでは、3×104Pa以下で高性能を発揮します。・水封式真空ポンプ、、引火性ガスや腐食性ガスの排気も可能です。・低騒音でかつ振動の少ない設計です。 |njh| uqx| muz| xnm| yyx| acg| jud| haf| oio| zcg| qnu| xjx| hvk| ltg| yui| bal| vle| cnr| hqo| fwi| nmk| gmo| bqf| zyh| fkl| wks| njo| tzj| zjl| kpb| idv| jpv| zab| hlc| stg| mrk| lea| fch| elf| wey| wee| pqk| qzn| xyy| smb| syv| wlb| vge| eyj| seb|