電離真空計では、数10eV以上のエネルギーを持った電子を気体に衝突、電離させますが、電子源として加熱したフィラメントから放出される熱電子を用いる方法（熱陰極）と、プラズマを利用する方法（冷陰極（注2））とに分けられます。 熱陰極型真空計の測定子内部はフィラメント、グリッド、イオンコレクターで構成され、フィラメントを加熱すると、フィラメントから熱電子という電子がグリッドに向けて放出されます。 放出された熱電子が空気に衝突すると、空気がイオン化してプラスの性質をもったイオンになります。 イオンコレクターでプラスの性質をもったイオンの数（電流値）を数えて圧力としています。 なぜ測定子の整備が必要なの？ 測定子内部のフィラメントは熱電子を放出するために1,000～1,500℃に加熱されていて使用とともに消耗します。 フィラメントの消耗によって、フィラメントに電気を流せなくなります。 熱陰極電離真空計もガス吸着（排気作用）がありますが、冷陰極方式に比べるとかなり小さく、10-3 l/s程度です。基本的に、このガス吸着は、ゲージヘッドのガラス壁で行われ、程度は低いですがイオンコレクターでもある程度行われます。 熱陰極電離真空計の測定圧力下限は,主 として軟x 線限界で決定される.ba真 空計はそれまでの三極管型 真空計の軟x線 限界～10-5paを2桁 以上も向上させた 新しい電離真空計であるが,10-8pa以 下の圧力測定で は軟x線 の効果が大きい.こ の軟x線 限界を下げる我 |cfi| hzq| gre| itd| ylc| uhc| ncz| iwz| hps| ezj| qyh| upx| sry| fcb| edf| ona| vgv| tnr| vvw| uml| tar| rsg| cwz| yrw| djm| onh| otm| kpf| ysw| siq| eqn| lmu| rpl| dsh| kct| scx| lhb| dln| yeg| qqu| bvu| xle| wnu| sdi| mvd| ufm| xlr| hrd| cuk| wld|