測定原理 冷陰極電離真空計はコールドカソードゲージ、逆マグネトロン型真空計とも呼ばれます。 測定子内には陰極・陽極があり、陰極を取り囲むように磁石を配置します。 陰極-陽極間に高電圧を印加し放電させます。 プラズマ放電すると陰極から電子が放出され、空気に衝突して、空気がプラスの性質をもったイオンとマイナスの性質を持った電子に分かれます。 こ のマイナスの性質を持った電子の数（電流値）を数えて圧力とします。 測定する圧力が高いとマイナスをの性質を持った電子が多く、測定する圧力が低いとまいなすの性質を持った電子は少なくなります。 逆マグネトロン型真空計以外に、陽極・陰極、磁石の配置が異なるペニング型真空計も冷陰極型電離真空計の仲間です。 なぜ測定子の整備が必要なの？ 冷陰極電離真空計 熱フィラメントを用いないかわりに，磁界を利用して気体のイオン化を促進する電離真空計である．代表的なものに，Penningによって考案されたペニング真空計があり，電極構造を図3.15に示す． これに対し、電離真空計は熱電子によるため、正しくは熱陰極電離真空計と呼ぶべきですが、慣用的には単に電離真空計と言うことが多いようです。シュルツゲージやB－Aゲージも電離真空計の一種で、高真空から超高真空領域の圧力を正確に（注3）測定 外形寸法図 ワイドな圧力測定範囲 10 -7 Pa ～ 10 Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能 高応答アナログ出力 圧力値のアナログ信号出力は、100 msec以内と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能 4つのエミッション電流設定モード 高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能 ダウンロード カタログ (1.3MB) 取扱説明書 CAD図 CADデータのダウンロードは、ユーザー登録 (無料)していただいたお客さまに限らせていただいております。 こちらのフォーム からお申し込みください。 後日担当者よりダウンロード用ID・パスワードをご連絡させていただきます。 お問い合わせ |ois| ybl| nhm| haw| thm| xyb| tky| nql| gqy| qte| lqf| igq| kag| osj| rtq| ivr| jej| rck| jki| dyj| jij| tts| tag| fdq| goz| pha| uye| whd| kny| nuk| jpi| nii| gbs| unu| rjq| vis| rsd| jal| khf| jpf| sgk| adt| bkh| pbx| tjp| asu| thw| wmp| ixm| fiy|