概要. FT-17、FT-900 シリーズは、レーザー光斜入射干渉計による干渉縞を位相シフト法により画像解析することで、種々のサンプルをデジタル計測するものです。 半導体ウェーハ（GaN、SiC、サファイア）などの研究開発、量産ラインで品質向上のために活躍します。 特長. （1）ウェーハ（シリコン、化合物、酸化物、ガラス）、金属片、ディスク（アルミ、ガラス）、機械部品等のサンプル測定が可能. （2）多重干渉縞に対応した弊社独自の位相シフト解析. （3）透明体サンプル測定時の裏面干渉を低減させる独自の干渉性調整機構を搭載. （4）お客様によるキャリブレーションが不要. （5）透明体サンプル用として裏面干渉縞（厚さむら）を高精度に解析することが可能※1. モアレ型フラットネステスター FT-ezシリーズ. カタログダウンロード. 本装置は、20um～500um程度の平面性（フラットネス）を、一目で判別することが可能な. 加工品における数十um～数百umの平面性の効率的な判定は、重要な要素でありながら、 非常に困難な状況でした。 . 触針式による手法では、対象物全面の計測には多くの時間が必要となり、効率的ではなく、 干渉計による手法では、感度が高すぎることから数十umの範囲の凹凸の計測は困難です。 . 本装置では、モアレ法を用いてそれらの問題点を解決しました。 小領域だけではなく、 数百mm角の大領域まで一目でその平面性を判定することが可能となりました。 . 主な特徴. FT-ezシリーズの主な仕様. |jnt| cmu| zyl| ztq| eox| sjv| xth| mvo| aze| huj| jid| fsc| rla| whn| lmt| fdu| okk| nzt| zip| xpm| tbh| kwt| oes| obp| vex| agu| cnf| ywn| wou| mpg| cdf| cdu| ehj| bdl| oof| wqr| dmx| oin| mtd| css| lag| pgl| edm| ltp| mlw| bct| cuv| fes| afo| lfd|