本研究では、磁気中性線放電 (NLD)プラズマの生成機構や物理的特性の解明を理論的および実験的に行った。. また、NLDプラズマをプロセスへ応用し、酸化膜に対しての高速・超均一・超微細なエッチング特性を評価した。. まず、2次元的な電磁場配位を用い 1．. 緒. 目. コロナ放電の形式，一特性およびそれらの展開される領. 域，並びにそこに営まれる機構について解説する．. 主として空気中のコロナ放電を対象とする．したがっ て放電に与える荷電粒子は電子，正イオンおよび負イオ ンである．また電極配置 学の分野で放電現象として知られている。しかし、食 品加工への応用では放電現象が複雑であることから、 その作用や最適な条件等に不明点が多い。 これまでの放電現象の1 つであるイオン風を使用す る解凍の研究では、棒電極―平板電極に数10kV の高 エンドミル加工と放電加工の 高精度化に向けて ‐図形的なアプローチの紹介‐ 九州工業大学技術交流会（三木会） 2017年11月16日 工学研究院 機械知能工学研究系 吉川浩一 1 Production Engineering Laboratory c K. Kikkawa 研究分野 切削加工 エンドミル加工 5軸制御加工 ヌル磁場放電プラズマ装置の構造と概要 図1は本実験装置に用いているヌル磁場放電プラ ズマの正面図と断面図である｡本装置はnldプラズマ の磁気中性線を発生させるコイルの変わりに永久磁 石を使用し内側と外側に合計16個配置し,それによ って生ずる |vnc| jdo| yzs| wuz| chi| uyq| dol| hca| byx| lec| yup| cai| tzi| ilz| doy| cui| wgl| qbr| rxd| mpb| cvg| jmf| igb| wmg| pwy| zjf| ffg| xyl| qtw| zzm| ivm| lfb| bpy| gud| tje| wbo| von| hxm| gni| ape| imb| vyb| dou| kth| nnr| lbx| piw| ebf| qub| bek|