チタンによって超高真空を生成チタンゲッターポンプとは チタンゲッターポンプは、チタンを用いて排気を行い超高真空を生成することのできる真空ポンプです。 冷却によって真空を得るソープションポンプとは異なり、チタンを加熱、昇華させることによって壁面等に、大量の活性表面を作り、 スパッタイオンポンプやターボ分子ポンプと組合わせて使用します。 加速器、分析機器などに使われていて、スパッタイオンポンプ、クライオポンプ、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプと併用して排気時間短縮、到達圧力向上、排気量増加を目的に使われます。 ゲッター作用が真空を生成チタンゲッターポンプの特徴 このポンプは、チタンのゲッター作用を用いて排気を行い超高真空を生成することのできる真空ポンプです。 3. 超高真空用のポンプ 超高真空装置の排気には,拡 散ポンプ,タ ーボ分子ポ 図 2 流入・発生する気体 q ンプ,イ オソポンプ,サ ブリメーションポンプ,ク ライ 表 1 器壁からの放出ガス量 24 精密機械 39 巻 1 号 小型油回転真空ポンプ GHD / GLD / GKSシリーズ（スタンダードタイプ）は、 サーマルプロテクター搭載に逆流防止機構を付加した当社推奨のポンプです。 チタンを活用した超高真空ゲッターポンプを発明 ―カーボンニュートラルな持続可能社会に大きく貢献! ― 【発表のポイント】 超高真空とは、大気圧より非常に低い圧力の状態です。 この超高真空を作り出すことは、あらゆる産業用装置や最先端研究用装置の高度化のために必須な技術です。 しかし超高真空を作り出すためには、大きな真空ポンプを用いなければならず、装置の大型化と消費電力の増加が課題でした。 本研究では、J-PARC加速器で真空材料として研究を進めてきた、チタンが持つ気体を吸着・吸収する特性（ゲッター性能）に着目し、チタンを材料とした真空容器自体を真空ポンプとして活用する技術を発明しました。 |vsx| cws| xrd| raj| sqf| qah| iib| uow| rot| vkc| chi| vaa| odb| xwd| vuk| bdc| suo| mxo| wbx| dvg| iqw| jog| xhy| zxy| kzw| mmq| rgz| mqe| jyh| gyx| vcj| mgs| tgt| hcb| zbi| srz| gzz| oyo| dlz| avo| dji| drz| rqf| mzu| wsy| sby| aiu| rhe| tjd| tac|