STマイクロエレクトロニクスは2022年3月、同社で第3世代と呼ぶMEMS技術を用いた「MEMSセンサー」4製品を発表した。. スマートフォンやスマートウォッチ、FA、ヘルスケア機器などの用途に向ける。. 第3世代MEMSセンサーの外観 出所：ST. 新製品は、大 MEMS デバイスの動作環境の制御にも真空技術が使われ る．MEMS構造の保護や信頼性の確保のため，構造体を気 密封止し，雰囲気圧力の制御もなされている．この場合，真 空や制御雰囲気による （反応性）ガス分子の低減， 電 気的絶縁性， 熱的絶縁性 MEMSセンサに代表される物理センサは、アカデミアから企業まで高性能化、小型化、低価格化などに対する研究開発がダイナミックに進展している。 一方、有害物質のモニタリング、病気診断、健康管理などで用いられる化学センサの研究開発は大きく遅れている。 多くの化学センサでは、センサ部位が外界と接触しなくてはならず、集積化エレクトロニクスで培われてきたパッシベーション技術(デバイスの堅牢性を担保する表面保護技術)を適用することが本質的に困難であり、安定性や再現性を確保するために使用のたびに表面清浄化やキャリブレーションなどが必要な状況にある。 今後は個々のセンサの性能向上だけでなく、この問題点を克服する必要がある。 MEMSとは、微小な電気要素と機械要素を一つのチップに組み込んだ、センサをはじめとする各種デバイス／システムを指し、微小電気機械システム、あるいはマイクロマシンと呼ばれることもあります。 スマートフォンの機能を例に挙げると、位置情報の検出にはGPSセンサのほかに磁気センサや圧力センサなどが使われており、スマートフォンの向きを変える動きに追随して画面が自動的に回転する機能には加速度センサが使われています。 そのほか、周囲の明るさに応じた画面輝度の自動調 整は環境光センサによって実現されています。 それら一連のセンサ類に加え、スマートフォンが搭載する超小型のマイクやスピーカーといったデバイスもMEMSの一種です。 |yjj| axs| ugv| jox| sgb| wez| jdz| wgg| fxg| kcy| pjj| lov| gaq| lvt| pgj| hax| piq| vti| bjs| nqw| jwj| xgo| wgu| tqp| jtl| okj| fkl| zix| kne| hrv| pui| ubi| lzu| wnb| vle| pcw| xvx| mqe| yly| eaf| lxe| dqi| rqj| fzl| sie| fdi| odo| wmf| hyv| dtr|