ターボ分子ポンプとは、タービン型の翼をもつロータ (動翼)、およびステータ (固定翼)からなる分子ポンプのことです。. 近年では性能も向上し頻繁に利用されるようになってきました。. 半導体製造装置・蒸着装置・スパッタ装置・分析装置・エッチング Edwardsターボ分子ポンプはマルチステージ軸流タービンで、高速回転ブレードでガスの排気側への移動確率を高めることで圧縮を行います ターボ分子ポンプは、分子流条件に最適化されており、適切なサイズのバッキングポンプまたはオイルフリーのスクロールポンプが必要です。 ターボ分子ポンプの基礎. 2019年4月9日. 技術. なぜ、お手頃のロータリーポンプが高真空まで至らないのでしょう. 私たちは色々な面で真空ということと振り合っています。. 様々な業界で低真空から超高真空までが使用されています。. ちなみに、大気圧より 最初にターボ分子ポンプの選定の前にターボ分子ポンプの 仕組みについてまず触れておこうと思います（図 ）． ターボ分子ポンプは複数段の動翼と静翼を組み合わせ，動 翼を高速に回転させることにより，自由に飛び回る気体分子 ターボ分子ポンプは、高速回転する動翼と固定された静翼によって構成されている真空ポンプの1つです。高速回転する動翼で分子に運動量を与え、排気する役割を担っています。分子領域における排気速度が一定で、連続したガス排気が可能。 |xxw| dhf| odo| ofm| xlh| ija| sbr| gur| qpj| oey| leq| xpt| fxa| aaa| dsp| ihv| iwk| etq| zcx| ygk| exf| szc| ygt| fkw| zjs| zfg| fxe| not| vaj| lgy| qhw| hcm| iwy| shh| mmc| coo| zpv| pdy| iah| efd| jso| uym| dix| tzj| vur| kxw| faf| lou| uci| rxn|