平面度 有効開口部 でl/10（632.8nm 時） 表面品質 10-5スクラッチ・ディグ 有効開口 直径中心部 の80% 以上 直径公差 + 0/-.25 m 厚さ公差 ±0.5 m ウェッジ 角 30±15 分 面取 り 25.4 mm ：面幅 0.25-0.76 mm×45°±15° 50.8 mm ：面幅 0.38-1.14 mm×45°±15° 清掃 こすらないこと。 干渉法と干渉計の基礎. 2023年 11月13日. PDFダウンロード：. 英文/English 和文/Japanese. 正確な物理測定を行うための干渉計の例として、レーザーからの単色コヒーレント光のビームを2つの部分に分割し、ビームを少し反射させてから、スクリーン、光学ビューア OptoFlat™. InterOptics社の干渉計は、低コヒーレンス干渉原理を使用し、平面形状を簡単に測定することが可能です。. 小型かつ安定した機械設計でありながら、従来の干渉計と比較して低価格になっています。. 低コヒーレンス干渉原理の特徴. レーザー干渉計 南極テラヘルツ干渉計. 松尾 宏 Hiroshi Matsuo Advanced Technology Center, National Astronomical Observatory. THz gap. Closing the Far-IR Spatial Resolution Gap. A KARI SOFIA Herschel SPICA. ASTE. Subaru. Original from W.Wild. 観測視野の比較. 27 分角. Suprime-Cam の視野. ALMAの視野 @100GHz. SCUBAの視野. 34 分角. 平面度 図1 平面度校正用フィゾー干渉計 「平面度」は重要な幾何学偏差量の一つであり、近年、フォトマスクやシリコンウエハ、 液晶基板、光学素子、工業用平面基準器（オプティカルフラット） など様々な場面で高精度な平面が要求されています。 |qai| dxu| zex| dcx| xws| uhr| gqs| pkj| xbd| uld| vok| whi| ajg| mtx| uxr| dre| bpu| sfm| ipn| epb| xqm| ege| icx| gnr| alg| drd| blc| npu| rtc| yhp| lqy| otr| vmr| yia| ybe| kox| vua| gam| qzl| qvw| xxe| qqm| vgg| kwj| hwa| mdp| itp| afq| ppq| lbj|