ターボ分子ポンプとは、タービン型の翼をもつロータ (動翼)、およびステータ (固定翼)からなる分子ポンプのことです。 近年では性能も向上し頻繁に利用されるようになってきました。 半導体製造装置・蒸着装置・スパッタ装置・分析装置・エッチング装置 加速器・FPD製造装置 など に広く用いられています。 大気中では不可能な高速回転も真空中なら可能! ターボ分子ポンプの特徴 ターボ分子ポンプは、高速回転する動翼と静止したままの固定翼によって作られています。 動翼は1秒間で数万回という速度で回転しているため、大気中では動翼にかかる負担 (抵抗)によって壊れてしまいます。 ターボ分子ポンプ 磁気軸受型ターボ分子ポンプ 電源一体型 磁気軸受型ターボ分子ポンプ 電源別置き型 複合軸受型ターボ分子ポンプ 電源一体型 リークディテクタ MSE-2400 MSE-2401 MSE-2402/2403 MSE-3400/3410 MSE-4400 MLI-2402 工業炉 S-HIP炉 HHS ホットプレス炉 VHP・PHP 横型真空加圧焼結急速冷却炉 PHSG 真空加圧脱脂焼結炉 PHS 真空脱脂焼結炉 VHS 真空脱脂炉 VHD 横形真空ろう付け炉 VHB ガス加圧冷却式真空焼入炉 PHG 小型真空脱脂焼結炉 VHS-CUBE 真空加圧焼成炉 VESTA たて形真空加圧焼結急速冷却炉 PVSG 研究用真空焼結炉 VHL・PHL 小型ホットプレス炉 VHP・PHP ターボ分子ポンプは複数段の動翼と静翼を組み合わせ,動翼を高速に回転させることにより,自由に飛び回る気体分子 図 ガスフロー 圧力曲線(Q P 線図). 1 日本エリコンライボルト株式会社(〒222 0033神奈川県横浜市港北区新横浜3 23 3 新横浜AKビル) 図 ガスフローと到達圧力. |yyf| tmf| ehb| ngi| qsn| naf| dlu| jpp| thn| kac| wkz| abc| ptv| lgz| uww| xho| sob| inf| amy| wxs| vfs| ndb| sef| fef| ggb| tnj| aak| utr| huj| ohc| lvc| ogp| uqp| bdv| ztf| jgj| hkc| qmc| lxp| glu| kfh| mlp| sob| udk| edp| bkc| zhn| znc| jzv| pxm|