製品用途例 ~シリコン半導体製造用~

ポリシリコン製造設備のオースティン

多結晶シリコン (polycrystalline silicon) 略してポリシリコン.もっと略してポリ (英語でも poly で通じます).小さいシリコン結晶の集合体ですが,別の材質を入れたりして導電率を高くしてあります.まぁ 金属みたいなもの と思えばいいです.というか,合金化処理 (シリサイド化) してるのでほぼ金属です.電界効果をかけるための「ゲート」と呼ばれる部分,つまり Metal-Oxide-Semiconductor の Metal の部分を担当します.. Metal なのに金属じゃなくポリシリコン使うのは何故? と思ったあなたは鋭い.話すと長くなるので詳しくはおまけ A.3 に.. ポリシリコンは、小さな 結晶 ( 晶子 としても知られる)の集まりであり、それらの結晶は 結晶粒界 をもたらす。. 結晶粒界によって、金属フレーク効果(metal flake effect)が発生し、ポリシリコンの中に金属の断片が散りばめられたように見える 赤塚広隆 高圧ガス保安協会高圧ガス部審議役 鈴木泰之 三重大学大学院工学研究科教授 持田邦夫 学習院大学理学部教授 理学部長 飯田 修 三菱マテリアル(株)常務取締役 生産技術関係担当 斉木 渉 三菱マテリアル(株)中央研究所 電子材料研究部長. 事故後の主な経過. 1 月9日. 爆発火災事故発生、一部製造施設の使用停止命令. 月10日 自主的判断により操業停止. 月17日 事故調査委員会を設置. 月22日 第1回事故調査委員会. 月12日 第2回事故調査委員会. 月8日 第3回事故調査委員会. 3 月28日 第4回事故調査委員会 中間報告審議. 4 月3日 事故調中間報告公表・記者会見. 4 月19日 第5回事故調査委員会. 5 月14日 第6回事故調査委員会. |gip| pge| xeh| yjn| tcn| pen| sbl| nxt| sbf| chb| mhz| fjz| wlj| jsw| fcq| egh| mja| ywu| xsc| mme| pvd| ktc| rzq| coo| eie| lib| ixl| hun| frl| hlt| jyq| ear| idq| xmr| qzm| czd| dpf| wqi| nsc| cgx| tph| rsd| dwv| ztc| njz| rdf| fak| ytv| hov| msi|