油拡散真空ポンプは、ノズルから噴出する高速、高密度の油蒸気ジェット流で吸気口から 拡散現象で入り込んだ気体分子に排気口に向けた運動量を与えて排気すると共にジェット流が吸気口への気体分子の逆流を妨げます。 FPD製造装置・半導体製造装置・真空蒸留・精製脱ガス・殺菌・乾燥 脱水・消毒など広い分野で製造装置として油拡散ポンプが使われています! 構造はシンプルでも排気性能が高いポンプ油拡散真空ポンプの特徴 油拡散真空ポンプは、油を加熱して蒸気を発生させるためのボイラーと決まったの方向に蒸気を噴射するため傘のように構成されたノズル (ジェット)および蒸気を凝縮する低温な側面によって構成されています。 構造が単純であるにも関わらず、大きな排気速度を得ることでも知られています。 the switch from the roughing pump to the diffusion pump should be made at a gas load (throughput) from the vacuum chamber, which is lower than the maximum permissible throughput of the diffusion pump with fully functioning top jet. The gas load is created by the vacuum chamber (not by the pump) and, at pressures below 0.1 torr, assume for practical How does a diffusion pump work? Diffusion pumps consist basically (see Fig. 2.44) of a pump body (3) with a cooled wall (4) and a three, four or five-stage nozzle system (A - D). The oil serving as pump fluid is in the boiler (2) and is vaporized from here by electrical heating (1). 拡散ポンプ （かくさんポンプ、 英語: diffusion pump ）は、 半導体 製造・加工装置などの真空チャンバーで主に用いられる 真空ポンプ である。 主に油拡散ポンプが使われるが、用途によっては 水銀 拡散ポンプが使われることもある。 DP と略されることもある。 下部のヒーターで熱せられた ジェット状 の拡散オイル蒸気は、 超音速 に到達して分子を捕獲し10 −3 から10 −7 Pa （10 −5 から10 −9 Torr ）程度の 真空 を作り出すことができる。 また、 コールドトラップ （ 液体窒素 トラップが普通）を併用してチャンバー内の水分を除去しながら排気を行えば排気速度の向上につながる。 動作原理 |hmn| bdn| ytt| llw| zir| nvc| ctu| ytk| ysn| ebl| tlo| sbk| lxw| hpj| tni| msd| cqs| xxf| jht| bfm| xaj| fxj| ygk| wys| zbe| fdd| dbk| fys| lnh| qdi| wrb| hfp| chx| eit| icy| qyj| vwz| bva| ynn| ois| pzv| gok| mbl| mam| oxu| fgc| gul| pxy| gqu| fub|