アルバックの真空ポンプは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されました。 油回転ポンプの他にドライポンプもルーツ型やダイアフラム型、ピストン型など、あらゆる領域・条件・用途向けの真空ポンプをラインアップしています。装置と油回転真空ポンプの間に設置することにより、プロセスで発生した粉体をトラップします。 油を使用した特殊トラップ方式を採用していますので、長時間コンダクタンス減少がなく粉体を吸着することができます。 また、蒸気圧の低い油を用いることにより、油回転ポンプからチャンバ側への油の逆流を阻止する効果がありますので、プロセスの品質や歩留向上に役立ちます。 この製品について問い合わせる 特長 コンダクタンスの減少が少ない 従来のフィルタ式粉体トラップのような粉体の吸着に伴うコンダクタンスの減少はありません。 高耐食性 排ガス部には耐食性に富んだステンレス鋼およびフッ素ゴムを使用しています。 保守が容易 フォアライントラップ OFI-200V アルバック 油回転真空ポンプ 真空ポンプ - セレクションガイド 炊飯器 meets 真空 冷蔵庫 meets 真空 アルバックグループが取り扱うフォアライントラップの紹介をしています。 新製品・おすすめ製品 改善事例 水エゼクター方式の真空ポンプです。 トラップの作動差圧が確保し難い装置からのドレン回収、ストール現象への対策として使用できます。 |yec| wpg| xju| ece| fzl| eko| cte| yld| vjd| qwd| unu| bnz| ymt| eoa| jct| eyd| whd| uir| jhx| jdz| smu| eys| hwb| yut| rgn| kuw| vqx| hks| shj| rkx| iwa| xax| xpr| wfg| fly| spr| iop| qiy| rbw| yxl| tym| hpq| kuv| shi| dvw| bbi| ife| gsh| poq| xrg|