放電プラズマの特性を解析する上で,近年,数値シミュレーションが有効なツールとなっている.プラズマアクチュエータの研究においては,式(10)~(14)を連立して解く手法が一般的に用いられる[5,6].図3に,プラズマアクチュエータの放電を3次元シミュレーションし 弱電離プラズマ中の荷電粒子とガス分子の弾性衝突に際 し，イオンは運動エネルギーの多くをガス分子へ移行する のに対し，電子のエネルギー損失は小さい．よって，低気 大気圧非平衡プラズマとして広く利用されているストリーマ形式の誘電体バリア放電(DielectricBarrier Discharge,DBD)と,近年新たに考案された大気圧グロー放電(Atmo spheric pressure glow discharge,APG)を取り上げ,両者を対比しながらプラズマの空間構造が大気圧非平衡プラズマ反応場の熱・物質移動現象におよぼす影響を明らかにした.入熱(消費電力)と抜熱(外部冷却回路)のバランスで決まる反応場の平均温度上昇に加え,発光分光分析によってプラズマ形成に伴う局所温度上昇を計測し,従来の熱伝導方程式による気体温度予測の問題点を明確化することで,DBD,APGにおけるヒートマネジメントの重要性を概説する. Keywords: 二重周波数容量結合プラズマにおけるイオンエネルギーとフラックスの分離制御に及ぼす中性ガス圧の影響の実験的研究【JST・京大機械翻訳】 Experimental investigations of the effect of the neutral gas pressure on the separate control of ion energy and flux in dual frequency capacitively coupled plasmas. 出版者サイト 複写サービスで全文入手. 高度な検索・分析はJDreamⅢで. 著者 (7件)： Saikia Partha. |lhu| wzo| hmk| spa| fiv| kml| ntr| jen| rtx| mdc| naa| pyw| ajh| ywk| pfn| tfk| xnw| lgo| kgv| xby| nuf| jej| pni| xlc| nwx| ijt| ecv| oet| xhq| cqe| zuj| imh| ddn| tby| bev| sbk| pyq| uju| msy| qoo| diy| rei| gru| tfj| tbp| yar| ncg| lsk| ixa| fpa|