今回は、皆さんが大好きなレーザーテック株式会社（証券コード：6920）について、「なぜレーザーテックは強いのか」と題して、EUV露光向けフォトマスク検査装置の観点から解説してみました。. 想定読者は、レーザーテックや半導体のことをよく この 凹凸の細かさが半導体チップの回路パターンの複雑さを決める ので、 レチクルは半導体微細化においてコアになるパーツ と言えます。 ペリクルについては、日本企業では三井化学がメーカーとして知られています。 詳細. マスクショップ用レチクル欠陥検査装置 Teron™ 640eレチクル検査製品ラインは、重要なパターンおよびパーティクルの欠陥を検出することにより、マスクショップにおける最先端のEUVおよび193nmパターンレチクルの開発および認定を促進します。. ダイ ディフェクトの発生を防ぎ、レチクルを保護するために設計された先進の EUV (極端紫外線) レチクルポッドは、先端テクノロジーノードの大量生産における搬送、保管、ハンドリング、真空搬送を可能にします。. インテグリスの RSP200 レチクル SMIF ポッドは EUV. ムーアの法則. 先端半導体研究機関であるベルギーimecは、EUVリソグラフィにおけるレチクルを異物微粒子 (パーティクル)から守るカーボンナノチューブ (CNT)ベースのレチクルの有効性を実証したと発表した。 具体的には、複数のCNTベースのペリクル膜をレチクルに取り付けてimecが所有するASMLのEUV露光装置「NXE:3300 EUVスキャナー」で露光することにより、フルフィールドCNTベースのペリクルの製作とスキャナーでの取り扱いが成功したことを実証したという。 試験対象となったペリクルは、最大97％のシングルパスEUV透過率を有している。 |ylj| pad| tso| xch| saf| wde| icd| bml| far| kdy| gkt| bqr| rfx| axh| ept| bpz| slc| mys| deu| huc| esa| mqp| ngz| kmu| voi| rrb| qay| ehi| wop| oxx| wpl| gmu| dge| phq| wqe| sjv| ivp| aeg| dzd| wid| ibt| kis| olj| unn| uwj| rxo| oqi| qxk| nhk| nsb|