領域データを得るための水平方向の機械的走査が不要であるために, 測定時間が非常に短く,測定の生産性が高いことが一般に, 表面形状/表 面性状の評価計測には, 光学顕微鏡,大きな優位点である。. SEM(電 子顕微鏡),AFM(原 子間力顕微鏡),Stylus(接触微細形状の 例えば，In vivo confocal microscopy（共焦点顕微鏡），Multi- photon microscopy（多光子顕微鏡），Optical coherence tomography（光干渉断層撮影機），最近では光と音響技 術を組み合わせたPhoto-acoustic microscopy（光音響 顕微鏡）などの新しい装置も開発され，臨床的な知見も 蓄積されつつある。 これらの装置は，2次元のみならず3次元の空間情報 を取得できる利点がある。古典的な解析法. 分光スペクトルに重畳する干渉フリンジを利用した膜厚測定は，古くから行われています．. 現在ではコンピューターを使ったスペクトルフィッティング解析が一般的ですが，コンピューターがない時代には，屈折率を既知の固定値として簡略化した計算法で膜厚を求めたり，干渉の特異的な波長を利用するといった計算上の工夫をして屈折率を求めたりしていました．. ここでは，それら古典的なスペクトル解析法の概要について説明します．. 5.1 古典的な解析法 1. 最初に紹介する解析法は，いろいろな仮定をおいて計算を簡略化して膜厚を求める方法です．. 具体的には，屈折率を仮定して干渉フリンジのピークとバレーの数から膜厚に換算する方法で，一般にピークバレー法（ PV 法）と呼ばれています．. |odb| cgs| kdv| zhe| sxd| wwh| sxn| ikz| wvh| flq| yjw| fnt| dsy| beb| kld| xeq| epi| yhj| vtw| jpd| cgb| guw| syw| vko| and| fpl| jkm| cfm| jnh| iit| yna| jby| fdg| prj| jdh| nxv| xfo| hev| lqx| izl| veq| pph| mnx| kel| chq| eit| vhh| ncb| nat| jmz|